IMC200中等束流离子注入设备

类型:离子注入设备
咨询电话:010-84195588
◆适用于1mm2小样片至6英寸晶圆片,
    可选择自动或手动装载。 
◆注入离子能量 200KeV
    双电荷注入可达到400KeV
◆多种离子源可以选择
Bernas、Freeman、溅射、液态源……
◆超过60种元素都可以实现离子注入
◆多电荷注入能力
◆可实现冷注入和热注入