全自动晶圆分类/封装/卸装设备

类型:晶片处理设备
咨询电话:010-84195588
◆可处理200毫米和300毫米的晶圆
◆晶圆转移、 整理、 分割、 合并、 反向、随机、 压缩晶圆地段、 包装/拆包、 等等
◆晶圆营运: FOUP / FOSB, 8寸晶圆, 晶圆盒
◆晶圆营运识别(RFID标记 / 条形码标签)
◆13及25条插槽
◆智能晶圆绘图和晶圆跨槽检测
◆可处理伯努利薄晶圆
◆简易的视窗界面
◆晶圆背面 / 边缘检查
◆SEC-GEMS兼容