全自动晶圆贴膜设备

类型:晶片处理设备
咨询电话:010-84195588
◆可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟 
◆对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描
◆晶圆斜片刻痕检测
◆自动从晶圆盒中拾取晶圆
◆先进的4轴机械臂,包括马达驱动的反转器
◆智能视觉晶圆定位
◆智能晶圆ID读取
◆SEC-GEMS兼容