◆兼容 FOSB 和 FOUP ◆真空叉形机械手和伯努利式机械手(选项) ◆智能视觉晶 ...
◆可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟 ◆对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和 ...
◆手动贴膜 ◆手动上膜 ◆兼容UV膜 ◆自动倒带 ◆手动切膜 ◆手动移除多余的 ...
◆可处理200毫米和300毫米的晶圆 ◆晶圆转移、 整理、 分割、 合并、 反向、随 ...